電子級硫酸顆粒管控的難點及解決方法

一、什么是電子級硫酸

電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技

術(shù)發(fā)展過程中的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。

二、電子級硫酸有哪些應(yīng)用

電子級硫酸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程，主要

用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒，無機殘留物和碳沉積

物。

三、為什么要對電子級硫酸進(jìn)行顆粒管控？

電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要 的影響。電子級硫酸是芯片制造工藝中用量最大的電子化學(xué)品，主要用于去除晶

圓片上殘留的金屬和有機物雜質(zhì)，質(zhì)量要求高，產(chǎn)品中金屬離子須達(dá)到 ppt 級

目前，我國電子級硫酸產(chǎn)品依賴德國 BASF 等外企進(jìn)口，嚴(yán)重制約我國

芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展，是主要“卡脖子"產(chǎn)品之一。近兩年，我國電子級硫酸制備技術(shù)取得突破，產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高，電子級硫 酸產(chǎn)品中金屬離子濃度均小于 10ppt，超越了國際 SEMI-C12（金屬離子<100ppt） 級別，與國際電子化學(xué)品供應(yīng)量最大、好的巴斯夫電子級硫酸品質(zhì)處同一級（金屬離子<10ppt），達(dá)到平。基于上述原因，我國新的電子級硫酸標(biāo)準(zhǔn)將于 2023 年 5 月 1 日正式施行，也將顆粒管控提到了標(biāo)準(zhǔn)管控層面

四、電子級硫酸管控有哪些難點

有 2 個，一個是硫酸的腐蝕性，一個是硫酸的濃度。98%濃度的電子級硫酸 的腐蝕性很強，這個就要求顆粒管控的儀器的耐強腐蝕很強。高濃度的硫酸檢測， 接液材質(zhì)達(dá)不到這個檢測濃度就無法需要稀釋檢測，稀釋又會存在手動稀釋和自動稀釋的問題，都是給電子級硫酸檢測無形中增加了麻煩。

五、如何解決

針對這 2 個問題，普洛帝研發(fā)團(tuán)隊經(jīng)過反復(fù)試驗，攻破了這 2 個難點，將電 子級硫酸的檢測濃度提升到 98%。在高濃度強酸性的情況下，依然可以實現(xiàn)顆粒 管控的準(zhǔn)確性。這款儀器就是普洛帝自主研發(fā)的品牌型號 PMT-2，選用 0.1-1.0um 檢測范圍的強腐蝕性傳感器，實現(xiàn)了電子級硫酸的顆粒管控目的。目前，已經(jīng)在

江蘇、廣東等地的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)得到了應(yīng)用。